2.自身清潔度測試：設(shè)備在出廠前，已經(jīng)AC100亞沸酸蒸超凈清洗器采用純酸和超純水進(jìn)行過多次清洗以及泄漏測試，但在設(shè)備運(yùn)輸安裝過程中，設(shè)備的潔凈狀態(tài)可能會有所變化。因此在設(shè)備安裝后，需要做自身清潔度測試，具體方法是：不放任何微波消 解管進(jìn)去，用純酸清洗至少三遍，每遍結(jié)束后從One-Way Vapor的排廢口取樣檢測，直至金屬雜質(zhì)含量達(dá)到要求。

    廢酸其實(shí)是酸蒸汽清洗過設(shè)備內(nèi)壁后冷凝而來的，即使已經(jīng)清洗過設(shè)備內(nèi)部，但金屬雜質(zhì)含量仍遠(yuǎn)低于原始濃硝酸，說明了2個(gè)問題：

    1)   清洗三遍后，設(shè)備內(nèi)部已經(jīng)基本潔凈；

    2)   通過亞沸蒸餾的方式，金屬雜質(zhì)都留在了酸液之中，所產(chǎn)生的蒸汽非常潔凈。